在加工（gōng）微小（xiǎo）精密零件時（shí），必須充分考慮到可能使裝配係統產生定位誤差的因素，控製裝配係統的定位精度。
此外，當前獲得複雜微小精密零件的超精密加工方法主要有兩種，一種是微機電（diàn）係統技術(MEMS)，另外一種是（shì）從傳統機械製造技術發展而來的微細製造技術。
無論采用哪（nǎ）種技術（shù），都需要先進的測量裝置及方法，因為零件加工精度的提高對測量水平的（de）提高具有嚴格的依賴性（xìng）。
微小精密零件在結構形式、構件材料和加工（gōng）工藝等方麵具有以下特點：
構成材料主要是金屬、合金或者複合材料等非矽材（cái）料，這些材料具（jù）有（yǒu）優秀的機械特性，如高（gāo）強度、高硬度、耐磨損、抗過載、耐高（gāo）溫或耐腐蝕等，能在惡劣工況條件下正常（cháng）工作。
微小（xiǎo）精（jīng）密零件（jiàn）廣泛（fàn）存在於各種微小型係統，包括框架、壁、腔（qiāng）體、軸、槽、輪、孔係（xì）等多種結構形式，市場需求量大。
指整體尺度在毫米級，很難利用常規方法加工的小型零件。
以準三維或三維的立體結構為主的結構形式，深寬比高或長徑（jìng）比大。
結構（gòu）複雜，空間緊（jǐn）湊，各個部件之間存在確定的連接、傳動或裝配關係，對形狀和位置的精度要求非常高，對於零件表麵的精（jīng）密度要求（qiú）較（jiào）低，不一定要納入納米級別。
